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本发明提供了一种用于形成能够自支撑的一个或多个可分离半导体膜的系统。该设备包括用来产生多个处于第一能级的准直带电粒子的离子源。该系统包括具有编号为１至Ｎ的多个彼此顺次耦合的模块化射频四极（ＲＦＱ）元件的线性加速器，其中Ｎ是大于１的整数。该线...
该专利属于硅源公司所有，仅供学习研究参考，未经过硅源公司授权不得商用。

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