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干膜抗蚀剂的多层膜制造技术
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文档序号:5471117
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一种多层膜包括:第一表面层和与所述第一表面层相对的第二表面层,其中所述第一表面层的粘度a和所述第二表面层的粘度b满足以下方程式:[方程式1]b>a。根据本发明的干膜抗蚀剂不采用常规的无凝胶聚乙烯保护遮盖膜。因此,可以减少产生不良图案,例如缺...
该专利属于可隆工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过可隆工业株式会社授权不得商用。
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