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扩散式等离子体处理和材料加工制造技术
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下载扩散式等离子体处理和材料加工的技术资料
文档序号:5470222
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用于进行空气处理和材料加工的系统,其包括:至少一个扩散式等离子体反应器,每个扩散式等离子体反应器具有绝缘电极(13,16)和限定在电极(13,16)之间的反应室(12);位于电极(13,16)之间的反应室(12)内的扩散器(19);以及电源...
该专利属于艾尔廸科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾尔廸科技有限公司授权不得商用。
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