下载扩散式等离子体处理和材料加工的技术资料

文档序号:5470222

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用于进行空气处理和材料加工的系统,其包括:至少一个扩散式等离子体反应器,每个扩散式等离子体反应器具有绝缘电极(13,16)和限定在电极(13,16)之间的反应室(12);位于电极(13,16)之间的反应室(12)内的扩散器(19);以及电源...
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