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本实用新型涉及一种观察硅片表面的运动支撑机构，其特征在于它包括一竖直设置的、由水平电机通过带动水平旋转的空心支柱，支柱的上下两端分别伸出有翼耳，在下端的翼耳上固定有一曲柄电机，曲柄电机的输出轴连接一曲柄盘，曲柄盘偏心处通过一转轴连接一空心联...
该专利属于陈百捷;北京自动化技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过陈百捷;北京自动化技术研究院授权不得商用。

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