下载电极阵列以及形成电极阵列的方法的技术资料

文档序号:5465002

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公开了一种形成电极阵列的方法,此方法包括:形成包括延伸自脊并且由脊支撑的纵向间隔的多个电极接触的细长梳结构,电连接多条导电路径中的每一条至多个电极接触中相应的一个,靠近接触放置导电路径,在导电路径和接触上放置硅酮,固化硅酮以基本上保持相邻接...
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