下载用于实现两个导电层之间的电互连的方法的技术资料

文档序号:5449798

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本发明涉及用于在被至少一个绝缘或半导体层(4)分隔的两个导电层(2,5)之间实现电互连的方法,该方法包括形成至少在下导电层(2)与上导电层(5)之间延伸的柱(3),其中所述柱的性质和/或形状使所述柱相对于构成分隔层(4)的材料具有不可浸润性...
该专利属于原子能与替代能源委员会所有,仅供学习研究参考,未经过原子能与替代能源委员会授权不得商用。

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