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带有电压反馈的电容式微机械超声换能器制造技术
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下载带有电压反馈的电容式微机械超声换能器的技术资料
文档序号:5444722
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电容式微机械超声换能器(CMUT)的实施方式包括与CMUT串联连接的反馈部件。反馈部件应用对施加在CMUT上的电压的反馈,以在CMUT的驱动期间CMUT的电容改变时影响施加在CMUT上的电压。...
该专利属于科隆科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过科隆科技公司授权不得商用。
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