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本发明提供了一种制造穿过衬底的垂直互连结构的方法。该方 法利用了布置在衬底200的第一侧202和第二侧204之间的牺牲掩埋 层220。在已经从第一侧蚀刻了沟槽206和206’之后，牺牲掩埋层 220用作从第二侧蚀刻孔218和218’期间的停...
该专利属于NXP股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过NXP股份有限公司授权不得商用。

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