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描述了一种集成电路设计和制造其的方法，用于高效率、低噪声、位 置敏感的X射线检测，尤其是用于医疗应用。该装置(350)基于用X射 线敏感闪烁体材料填充的深凹陷(354)。在衬底(352)的分开两个相邻的 凹陷(354)的侧壁的表面上形成浅的...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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描述了一种集成电路设计和制造其的方法，用于高效率、低噪声、位 置敏感的X射线检测，尤其是用于医疗应用。该装置(350)基于用X射 线敏感闪烁体材料填充的深凹陷(354)。在衬底(352)的分开两个相邻的 凹陷(354)的侧壁的表面上形成浅的...