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一种微机电致动器(100)采用金属以用于热臂(101)，并采用硅以用 于冷臂(105)的至少柔性部分。由硅制成的冷臂(105)联接至随其移动且 当至少两个这样的致动器形成开关时用于携带有待切换的信号的金 属线路(107)。第一芯片上的这种开...
该专利属于卢森特技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过卢森特技术有限公司授权不得商用。

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