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使用具有永磁体的磁透镜层的电子柱制造技术
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下载使用具有永磁体的磁透镜层的电子柱的技术资料
文档序号:5436596
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在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子 束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔 排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。...
该专利属于电子线技术院株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过电子线技术院株式会社授权不得商用。
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