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自动扫描探针成像的方法和设备技术
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文档序号:5436592
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一种操作扫描探针显微镜(SPM)(10)的方法,包括在所述SPM(10)的探针(14)与样品(22)相互作用时扫描所述样品(22),以及收集响应于所述扫描步骤(36)的样品表面数据。所述方法从所述样品表面数据识别(38)所述样品(22)的特...
该专利属于威科仪器公司所有,仅供学习研究参考,未经过威科仪器公司授权不得商用。
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