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本发明提供一种干蚀刻装置及方法，在干蚀刻热膨胀系数大的被 加工物时，可消除因蚀刻中受到的热变形、热冲击造成的被加工物的 开裂。该干蚀刻装置设置了具有凸型形状的表面的电极结构体，该凸 型形状是与电极结构体的横截面为同心圆的凸型形状，该凸型形状...
该专利属于株式会社爱发科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社爱发科授权不得商用。

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