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本文公开了制备结构化隔离衬片的方法。所述方法包括提供基部；提 供起垄性材料；将所述起垄性材料涂覆到所述基部上；使用具有轮廓的涂 覆棒使所述起垄性材料形成至少一个脊；以及硬化所述起垄性材料。将所 述起垄性材料涂覆到所述基部和使用涂覆棒使所述起...
该专利属于3M创新有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过3M创新有限公司授权不得商用。

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