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本发明涉及一种用于加工控制流体流的微机械结构部件的方 法以及按照这种方法加工的结构部件。用于加工控制流体流的微机 械结构部件(1)的方法包括下列步骤：通过在载体层(2)的表面(2a) 上构成位于薄膜下面的从相同表面开始的空穴(3，3a)来加...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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