下载新颖的腈和偕胺肟化合物及其制备方法的技术资料

文档序号:5432277

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本申请涉及一种半导体加工组合物,该组合物包含至少一种具有至少一个偕胺肟官能团的化合物,还涉及在半导体加工中使用这些组合物的方法。本申请还描述了用于半导体加工组合物的偕胺肟的制备方法:(a)将氰乙基化催化剂、亲核试剂和α-不饱和腈混合,产生氰...
该专利属于EKC技术公司所有,仅供学习研究参考,未经过EKC技术公司授权不得商用。

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