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用于监控和调整低温冷却的设备和方法技术
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下载用于监控和调整低温冷却的设备和方法的技术资料
文档序号:5431975
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一种用于通过测量从低温冷却装置(112)产生的蒸气云(113)的不透明度来监控和/或控制低温冷却的设备和方法。通过测量穿过蒸气云(113)的光束(127)的强度的下降来确定不透明度。不透明度的测量被用来控制系统的操作参数,诸如低温冷却装置(...
该专利属于气体产品与化学公司所有,仅供学习研究参考,未经过气体产品与化学公司授权不得商用。
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