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提供了一种组合式的处理腔室及方法。在此方法中，流体容积流过基板的表面，且不同流体容积部分具有不同的组成成分，以同时暴露基板的分离区域于组成成分的混合物中，此组成成分不同于相邻区域所暴露的组成成分。藉由多重流动而产生经不同处理的分离区域。...
该专利属于分子间公司所有，仅供学习研究参考，未经过分子间公司授权不得商用。

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