下载分析工具、分析装置、试样不足的检测方法以及试样分析方法的技术资料

文档序号:5429005

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本发明涉及具备在基板(10)上形成有多个电极(14~47)的结构的分析工具(1)。多个电极(14~47)包含:具有工作电极(14W,15W)的两个以上的第一电极(14,15);和具有对电极(16C,17C)的一个以上的第二电极(16,17)...
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