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一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；收纳容器，收纳反应容器及加热机构；气体供给内筒，将供给气体供给到反应容器内；气体排气外筒，...
该专利属于三菱麻铁里亚尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱麻铁里亚尔株式会社授权不得商用。

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