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本实用新型提供一种消相干匀场装置，包括漫反射板、全反射腔以及匀化透镜。本实用新型利用光束引导装置将待处理光束导向漫反射板，待处理光束经漫反射板漫反射后形成多束散射光。上述多束散射光在全反射腔内以各自不同的传播路径在全反射腔侧壁一次或多次全反...该专利属于北京中视中科光电技术有限公司;中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京中视中科光电技术有限公司;中国科学院光电研究院授权不得商用。