下载压电振动片的制造方法及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟的技术资料

文档序号:5408457

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本发明提供准确挑选次品并能提高商品的可靠性的压电振动片的制造方法及压电振动片、以及具备压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。具有如下特征:在抗蚀剂图案的形成工序中,以使光掩模(30)与光刻胶膜密合的状态对光刻胶膜进行接触式曝光,...
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