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本公开涉及在施加到衬底（２１０）的辐射敏感层中形成潜像（ｌａｔｅｎｔ　ｉｍａｇｅ），该衬底对曝光波长的辐射是透明的或者是能透射的。具体地，本公开涉及所谓的背侧光刻，其中曝光系统的最后的透镜（１０１）被定位以通过透明衬底的第一侧（１１０）投射...
该专利属于麦克罗尼克激光系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦克罗尼克激光系统公司授权不得商用。

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