下载基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法的技术资料

文档序号:5394210

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本发明公开了一种基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法。平面光波导干涉仪(15,25,35,45),包括:衬底(8,28,38,48);包括沉积在所述衬底(8,28,38,48)上的至少一个层(1,2,3)的双模波导(10,20,20’...
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