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硅单晶提拉用晶种以及使用该晶种的硅单晶的制造方法技术
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文档序号:5392181
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本发明提供硅单晶提拉用晶种,该晶种可以降低由接触硅熔液时产生的热冲击引起的滑移位错的产生,并且抑制该滑移位错的传播,即使颈部的直径大于以往的直径也能进行无位错化。本发明的硅单晶提拉用晶种是对基于CZ法的硅单晶提拉中所使用晶种的改良,其特征的...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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