下载控制由补偿硅原料制成的硅锭中电阻率的方法和系统的技术资料

文档序号:5391211

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本发明公开了一种用于控制从补偿硅原料形成硅锭过程中的电阻率的方法,本方法配制一用于熔融形成硅熔液的提纯的冶金补偿硅。提纯的冶金补偿硅原料提供一P型占大多数的半导体,本方法估算提纯的冶金补偿硅原料中硼和磷的浓度并加入预定数量的铝或/和镓;本方...
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