温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种包括响应压力而可变形的柔性膜的压力传感器，该压力传感器覆盖腔（２）并且包括用于产生与柔性膜的变形相对应的信号的应变仪（２１），其中柔性膜是柔性单片集成电路箔（１０）。按照这种方式，半导体集成电路本身用作柔性膜，这导致不太复杂的...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司;荷兰应用自然科学研究组织所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司;荷兰应用自然科学研究组织授权不得商用。