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本发明的目的为提供一种人造石英部件，其使得被波长为２００ｎｍ以下的激光长期照射引起的在激光波长范围内的透射率减少被抑制；以及一种制造所述人造石英部件的方法。本发明提供一种用作被波长为２００ｎｍ以下的激光照射的光学元件的人造石英部件，其铝含量...
该专利属于东京电波株式会社;旭硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京电波株式会社;旭硝子株式会社授权不得商用。

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