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用于净化半导体元件制造过程中的废气或工艺气体的方法，其中废气或工艺气体包含至少一种氢硫属元素化合物，所述氢硫属元素化合物包含以下至少一种：ａ）硫（Ｓ）；ｂ）硒（Ｓｅ）；ｃ）碲（Ｔｅ）；以及ｄ）钋（Ｐｏ），其中在湿式洗涤器中通过将工艺气体导入...
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