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多光束扫描装置制造方法及图纸
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下载多光束扫描装置的技术资料
文档序号:5384276
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一种多光束扫描装置,包括:多个第一光学系统,其包括用于发射非平行光的光源单元以及具有预定光焦度并影响从光源单元发射的光的光学元件;第二光学系统,其包括第一偏转系统以及公共光学系统,所述第一偏转系统设置在每个第一光学系统的后段,从每个第一光学...
该专利属于HOYA株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过HOYA株式会社授权不得商用。
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