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本发明为一种研磨装置，是使研磨工具（４１）与基板（Ｗ）的周缘部（坡口部、缺口部、切缘部）滑动接触而研磨该周缘部的研磨装置。该研磨装置具备：基板保持部（２０），对基板（Ｗ）进行保持；和研磨头（４２），利用研磨工具（４１）来对基板保持部（２０）...
该专利属于株式会社荏原制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。

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