下载一种真空镀密封装置的技术资料

文档序号:5344358

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本发明涉及金属卷材的真空镀设备技术领域,特别是一种真空镀密封装置,包括将箱体分隔成多个腔室的隔板和隔板开口处的上下辊筒,在隔板开口处设置密封座,密封座与隔板另一面的腔室相通,密封座与上下辊筒之间设置密封件,隔板、密封座、上下辊筒和密封件构成...
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