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本发明公开了一种基片加热装载设备，包括控制器、电热器、具有腔盖的真空腔体及与控制器电连接的抽真空装置、感应装置、传输装置，真空腔体设置有入口、与下游真空设备密封连接的出口及与抽真空装置对接的通气口，传输装置包括腔内传输装置及腔外传输装置，腔...
该专利属于东莞宏威数码机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞宏威数码机械有限公司授权不得商用。

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