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本发明给出了一种用于评价图案参数的变化的方法和系统，该方法包括：处理表示图案化制品的至少一部分的空间强度图像的数据，以及对于在该图案化制品的所述至少一部分中的预定区域确定空间图像强度的一定函数的值，空间图像强度函数的所述值表示在该图案化制品...
该专利属于以色列商.应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过以色列商.应用材料以色列公司授权不得商用。

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