下载分组制绒装置的技术资料

文档序号:5282302

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本实用新型公开了一种硅片分组制绒装置,包括制绒槽和清洗槽,其中,制绒槽分组设置,每两组制绒槽之间设置一个清洗槽。本实用新型大大减少了硅片暴露在空气中的时间,由此减少硅片产生白斑、花纹的几率,大大提高了硅片的质量。...
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