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成像装置和成像方法制造方法及图纸
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文档序号:5274183
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本发明涉及成像装置和成像方法。成像装置包括:被配置为用来自光源的光照射测量对象的照射单元;被配置为校正在从测量对象返回的光中出现的测量对象的像差的像差校正单元,该返回光是由经由与照射单元的中心轴不同的区域照射测量对象的光提供的;和被配置为基...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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