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本发明公开的带有出口气体收集器的多晶硅还原炉，包括炉体、夹套、底盘、支座、观察视镜、多对电极、硅芯、混合气进气管及进气喷嘴、出口气体收集器、出气管及冷却系统等。其特征在于炉内顶端设置有出口气体收集器，底盘中心设置有出气管，出气管与出口气体收...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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