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本发明提供一种真空溅镀设备的进气装置，所述进气装置包括至少一个锥形管，所述锥形管包括小端、与小端相对的大端、及位于所述小端与大端之间的锥面，气体由所述小端通入所述锥形管，所述大端封闭，沿所述锥形管的中心轴从所述小端至大端依次在所述锥面上等间...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。