下载多探头单元的技术资料

文档序号:5199117

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公开了一种多探头单元,包括:基板,该基板由金属材料制成,为矩形,固定设置在LCD检测设备上,并在长度方向两端设置有对齐相机;线性电机,该线性电机沿长度方向设置在基板上,具有多个移动子;移动架,该移动架的一端通过线性架固定在各移动子上,另一端...
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