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本发明提供的多晶硅生产装置，包括：底盘；钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设...
该专利属于上海森松压力容器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海森松压力容器有限公司授权不得商用。

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