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本发明公开了满足高精度、大行程和微步距、可对二维光学线纹标准器（或掩膜板、网格板）进行高精度测量和溯源的激光两坐标标准装置。包括基座，关键是基座平面上设有具Ｘ、Ｙ方向的共面气浮位移平台，气浮位移平台上设有零膨胀玻璃平台，被测件放置在零膨胀玻...
该专利属于中国计量科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量科学研究院授权不得商用。

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