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本实用新型涉及ＬＥＤ晶圆三光束激光划片设备，在激光器的输出端设置有光闸，光闸的输出端连接有扩束镜，扩束镜的输出端布置有第一全反镜，第一全反镜输出端衔接有用于将单束激光源分成三束激光的激光分光系统，激光分光系统的输出端设置有第二全反镜，第二全...
该专利属于苏州德龙激光有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州德龙激光有限公司授权不得商用。

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