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本发明的目的在于提供一种功率半导体装置及其制造方法,以能够不将电路图案的非电解Ni-P镀层的厚度厚膜化来抑制Ni-P镀层中的Ni扩散至焊锡中,且可以提高可靠性及成品率。该功率半导体装置包括:衬底;元件用电路图案,是形成于该衬底上,由Ni-P...该专利属于三菱电机株式会社;千住金属工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社;千住金属工业株式会社授权不得商用。
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本发明的目的在于提供一种功率半导体装置及其制造方法,以能够不将电路图案的非电解Ni-P镀层的厚度厚膜化来抑制Ni-P镀层中的Ni扩散至焊锡中,且可以提高可靠性及成品率。该功率半导体装置包括:衬底;元件用电路图案,是形成于该衬底上,由Ni-P...