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基于双频激光干涉的二维测量装置，包括反射率为５０％的分光镜、ｘ向测量模块、ｙ向测量模块，ｘ向平面反射镜和ｙ向平面反射镜。激光束通过５０％分光镜分成两束，对ｘ、ｙ两个方向的位移进行测量。每束光会通过偏振分光棱镜分为Ｐ光和Ｓ光，Ｐ光作为参考光，...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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