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本发明是有关于一种微电子装置及其微机电共振器的制造方法。该微机电共振器的制造方法，其是先形成具有待悬浮部的层叠主体，其包括硅基底、多层金属层及隔离层，并具有自金属层延伸至硅基底内的第一蚀刻通道，而隔离层填于第一蚀刻通道内。接着移除部分隔离层...
该专利属于原相科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过原相科技股份有限公司授权不得商用。

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