下载一种多晶硅氢还原炉上的视镜的技术资料

文档序号:5149136

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本实用新型公开了一种多晶硅氢还原炉上的视镜,包括双层的视镜镜片和通入还原炉内壁的内空式镜筒,视镜镜片分别安装在法兰上,法兰通过螺栓连接在位于还原炉炉壁之外的镜筒上,镜筒筒壁在靠近视镜镜片的位置设有水冷管和通气管结构,其特征在于:所述的里层视...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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