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校正检查对象的像差的自适应光学设备和图像摄取设备制造技术
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文档序号:5145320
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本发明涉及校正检查对象的像差的自适应光学设备和图像摄取设备以及自适应光学方法。自适应光学设备包含:第一光调制单元,被配置为在从光源发射的光中的两个偏振光分量之一的偏振方向上进行调制;改变单元,被配置为将由第一光调制单元调制过的光旋转90度;...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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