下载基于JTC的高精度光电混合像移测量装置及其方法的技术资料

文档序号:5121973

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本发明涉及一种基于JTC的高精度光电混合像移测量装置,包括激光器、设置在该激光器光路上的准直镜、设置在该准直镜的出射光路上的空间光调制器SLM、设置在空间光调制器SLM的出射光路上的傅立叶透镜和用于接收该傅立叶透镜的出射光线的CCD器件,该...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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