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本发明提供一种大直径水晶圆片倒角工装及其倒角方法，该倒角工装包括四轴研磨机、碗型倒角工装和水晶圆片真空粘钩，所述碗型倒角工装包括具有球形凹面的碗体和设置在碗体下部的连接体，所述碗体的球形凹面上设置有一层研磨砂，所述碗型倒角工装的连接体安装于...
该专利属于北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京石晶光电科技股份有限公司济源分公司授权不得商用。

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