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本发明提供一种用于化学机械研磨的固定环。其适于固定晶片。固定环的内壁与晶片接触，且固定环的内壁与晶片之间的总接触长度小于晶片的周长的８０％。...
该专利属于瑞晶电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞晶电子股份有限公司授权不得商用。

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